監察院第2屆至第5屆（截至105年7月21日止）共成立彈劾案491案、彈劾1,142人，其中法官、檢察官計有104案、133人。第5屆監察委員秉承歷屆監察委員建立之良好基礎，積極行使監察職權，於103年8月1日就職以來，迄105年7月21日止業成立彈劾案41案、彈劾61人，其中法官及檢察官計6案、7人，約占第5屆彈劾案件之15％，而法官部分有3案3人，為王俊隆、陳鴻斌及曾雨明，檢察官則有3案4人，為吳岳輝、李宗榮、吳文政及顏漢文；後經職務法庭判決，王俊隆降壹級改敘，吳岳輝、李宗榮、吳文政3人申誡，陳鴻斌、顏漢文及曾雨明等案仍審理中。
在第2屆至第4屆的法官、檢察官彈劾部分，共98案126人，法官74人、檢察官52人。經公務員懲戒委員會議決或職務法庭判決後，撤職19人，包括有井天博、黃丁全及莊明智等。休職22人、降級15人、減俸2人、記過29人、申誡17人、免議14人、不受懲戒5人，尚有3人仍審理中。
檢察官與法官分別代表國家負責偵查、起訴犯罪及審理裁判，地位崇高、責任重大，應有較一般公務員更高之道德標準，方不負國家殷切託付。監察職權之行使，對傳統民主國家較難監督之領域，即對違法失職之法官、檢察官等之彈劾，可達懲前毖後、整飭官箴之目的。
法官法公布施行前，監察院對經審查會決定成立之法官、檢察官彈劾案件，處理程序與彈劾一般公務員相同，均移送公務員懲戒委員會審理；法官法公布施行後，依據該法第51條第1項及第89條第8項之規定，法官之懲戒，應由監察院彈劾後移送職務法庭審理；檢察官之懲戒，其移送及審理程序準用法官之懲戒程序。是以，已與一般公務員遭彈劾後移送公務員懲戒委員會審理之程序有別。
另為淘汰不適任法官，法官法第50條明定：依其應受懲戒之具體情事足認已不適任法官者，應予撤職以上之處分。另若法官受免除法官職務並喪失公務人員任用資格之懲戒，公務員資格即被剝奪，亦不得充任律師。該法強化對法官、檢察官之懲戒手段，使懲戒功能大為提升。